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TESCAN掃描電鏡S9000X Xe Plasma FIB-SEM

TESCAN S9000X

  1. 產品編號：TESCAN S9000X
  2. 所屬品牌：捷克TESCAN
  3. 產品型號：TESCAN S9000X
  4. 額定功率：按實際方案提供
  5. 所屬類別：TESCAN掃描電鏡
  6. 所屬用途：固體表面測量
  7. 應用領域：金屬

產品特性：TESCAN S9000X是一款氙（Xe）等離子分辨雙束FIB-SEM系統(tǒng),配置新穎的TriglavTM 分辨率電子鏡筒以及新款的iFIB+TM離子鏡筒,它的分辨表征能力和樣品制備效率,足以應對半導體和材料表征中具挑戰(zhàn)性的物理失效分析工作,實現(xiàn)大體積三維樣品特性分析.

021-33587030021-33587020021-34631757

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產品特點 技術規(guī)格 行業(yè)標準

S9000X Xe Plasma FIB-SEM主要優(yōu)勢：

• 新的 Essence 軟件的用戶界面可實現(xiàn)更輕松、更快速、更流暢的操作，包括碰撞模型和可定制的面向應用流程的布局；
• 新一代 Triglav™ UHR SEM 鏡筒具有很好的分辨率，優(yōu)化的鏡筒內探測器系統(tǒng)在低束流能量下具有優(yōu)越的性能；
• 軸向探測器通過能量過濾器，可以接收不同能量的電子信號，增強表面敏感性；
• 新型 iFIB+™ Xe 等離子 FIB 鏡筒具有很好的視野，可實現(xiàn)很大面積的截面加工；
• 新一代 SEM 鏡筒內探測器結合高濺射率 FIB，實現(xiàn)超快三維微分析；
• 氣體增強腐蝕和加工工藝，尤為適合封裝和 IC 去層應用；
• 高精度壓電驅動光闌，可實現(xiàn) FIB 預設值之間的快速切換；
• 新一代 FIB 鏡筒具有 30 個光闌，可延長使用壽命，并很大限度地減少維護成本；
• 半自動離子束斑優(yōu)化向導，可輕松選擇 FIB 銑削條件；
• 專用的面向工作流程的 SW 模塊、向導和工藝，可實現(xiàn)吞吐量和易用性。
相關應用
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服務體系

Service System

為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明，還為客戶提供不同品牌產品間的性能比較，給用戶最中肯的購買建議。

  1. 服務理念

    服務理念

    安裝驗收合格后整機保修壹年。在質保期內，我們負責為用戶的設備提供免費維護、保養(yǎng)和免費更換損壞的零部件；

  2. 售中服務

    售中服務

    為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明，還為客戶提供不同品牌產品間的性能比較，給用戶中肯的購買建議。

  3. 售后服務

    售后服務

    安裝驗收合格后整機保修壹年。在質保期內，我們負責為用戶的設備提供免費維護、保養(yǎng)和免費更換損壞的零部件；